À̸§ KSPHM À̸ÞÀÏ phm@phm.or.kr
ÀÛ¼ºÀÏ 2021-06-09 Á¶È¸¼ö 1727
ÆÄÀÏ÷ºÎ
Á¦¸ñ
[PHM News Letter vol.12] ȸ¿ø»ç ¼Ò°³ - ÆÄÀ£ÀÌ¿£Áö/ÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹À̼Ç

 

 

ÆÄÀ£ÀÌ¿£Áö/ÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹À̼Ç

http://www.powelcorp.com/page/main.php

 

1. ±Í»ç¿¡ ´ëÇÏ¿© °£·«È÷ ¼Ò°³ÇØ ÁֽʽÿÀ.

¾È³çÇϼ¼¿ä. ¢ßÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹ÀÌ¼Ç ´ëÇ¥ÀÌ»ç °­Ã¢¼öÀÔ´Ï´Ù. ÁÖ½Äȸ»ç ÆÄÀ£Àº ¡°ÈûÂ÷°Ô Àß°¡¶ó¡± ¶Ç´Â ¡°ÈûÀÌ¿© ¼Ú¾Æ¶ó¡±¶ó´Â ¡°power well¡°À̶ó´Â ¿ø´ëÇÑ Å« ¶æÀ» °¡Áö°í 1999³âµµ¿¡ ⸳ÇÑ ´ëÇѹα¹ÀÇ Áß¼Ò ¹ÝµµÃ¼ °­¼Ò±â¾÷ÀÔ´Ï´Ù.

ÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹ÀÌ¼Ç Ã¢¾÷ ´ç½Ã ÀϺ»Àº Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç °³ ±â¾÷ Áß 6°³ÀÇ ±â¾÷À» º¸À¯ÇÑ ¸·°­ ÆÄ¿ö ¹ÝµµÃ¼°­±¹À̾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ È¯°æ¿¡¼­ °­Ã¢¼ö ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â ÀϺ»¿¡¼­ ±Ù¹«ÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷·Â°ú ºñÁö´Ï½º ±â¼ú¿µ¾÷ °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¡°»ç¾÷Àº °í°´ ¸¸Á·¡±À̶ó´Â »ç¸í°¨À» °¡Áö°í ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ°. ¼ÒÀç. ÀåÄ¡ÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î °í°´¿¡°Ô ´Ù°¡°¡´Â ¡°°í°´ ¸¸Á·¡±ÀÇ ½½·Î°ÇÀ¸·Î ¡°ÆÄ¿ö ÀÖ°Ô Àß ³ª¾Æ°¡ÀÚ¡±¶ó´Â ÀÇÁö·Î ½ÃÀÛÀÌ µÇ¾ú°í ±× ù¹ßÀº 1999³âµµ¿¡ ³»µó¾ú½À´Ï´Ù.

ƯÈ÷ 1999³âµµ ´ëÇѹα¹Àº IMF¶õ ±¹°¡Àû Å« ¾ÇÀç°¡ ÀÖ¾ú´ø ÅͶó ¸Å¿ì Èûµç½Ã±â¿´½À´Ï´Ù. ¿À·ÎÁö ¡®±â¼ú°­±¹¡¯À̶ó´Â ¸ñÇ¥¿Í ¡®±â¼úÀÚ¡¯¸¸ÀÌ ³ª¶ó°¡ »ì¸®°í °¡Á·À» °Ç»çÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¼±°¢ÀÚµé°ú ÁÖº¯ ¼±¹èµéÀÇ °¡¸£Ä§À¸·Î ÀÌ ±æÀ» ¼÷¸íÀ¸·Î »ý°¢ÇÏ°í »ç¾÷À» ½ÃÀÛÇÏ¿´½À´Ï´Ù.

´ëÇѹα¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷°ú µð½ºÇ÷¹ÀÌ»ê¾÷¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°ÀÇ °ø±Þ°ú ±¹»êÈ­ °³¹ß, ¼öÀÔ ´Ùº¯È­¸¦ ÅëÇÏ¿© ±¹°¡ÀÇ ÁÖ¿ä ÇÙ½É »ê¾÷ ±â¼ú°³¹ß¿¡ ´ëÇÑ Á¶·Â°ú ´ë±â¾÷°ú Áß¼Ò±â¾÷ ¹× °ü·Ã ¿¬±¸¼Ò ¹× ´ëÇб³ °ø±â¾÷ µî¿¡ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±âÃÊ ºÎÇ°, ÀåÄ¡, ¼ÒÀ縦 °¡Áö°í »ç¾÷À» Àü°³ÇÏ¿©, ¸í½Ç°øÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ 1.5¼¼´ë·Î½á ¡®´ëÇѹα¹ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ ¼ºÀ塯ÀÇ ¹ßÆÇÀ» ¸¶·ÃÇϴµ¥ ³ë·ÂÇÏ¿© ¿ÔÀ¸¸ç 2021³â Áö±Ý ÀÌ ¼ø°£ ¾÷·Â 21³âÂ÷ÀÇ Áß¼Ò±â¾÷ÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù.

ƯÈ÷ ÇöÀç ±Ù¹«ÇÏ´Â ÀÓÁ÷¿øµéÀº »ï¼ºÀüÀÚÃâ½Å ±×¸®°í ÇØ¿Ü ±â¾÷ Ãâ½Å ÀÓÁ÷¿ø ±×¸®°í Áß¼Ò±â¾÷¿¡¼­ Çٽɱâ¼ú ¼³°è ¹× Á¦Á¶ »ý»ê °æ·ÂÀÚ µî, ±Ù¹«±â°£ÀÌ 10³âÂ÷ ÀÌ»óÀÇ º£Å׶û »ç¿øÀÌ Àý¹Ý ÀÌ»ó ÀçÁ÷ ÁßÀÌ°í, ÀçÁ÷ÀÚÀÇ 50%°¡ ¿µ¾î ¹× ÀϺ»¾î¸¦ ±¸»çÇÏ´Â ¿¤¸®Æ®»ç¿øÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ° ¿µ¾÷, »ý»ê, Á¦Á¶, Ç°Áú¾÷¹«¸¦ ¼öÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç Àå±â ±Ù¼ÓÇÏ´Â Àü¹® ¿µ¾÷. ±â¼ú¾÷¹«¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î °í°´¿¡°Ô Ç°Áú°ú ½Å·Ú·Î º¸´äÇÏ°í ȸ»çÀÇ °æÀï·ÂÀ» ³ôÀÌ´Â °¡Ä¡ ÀÖ´Â ±â¾÷À̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù

ÁÖ½Äȸ»ç ÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹À̼ÇÀº ÀÓÁ÷¿øµéÀÇ °Ç°­°ú ¹ßÀüÀÌ È¸»çÀÇ °Ç°­ÀÌ°í ¹ßÀüÀÓÀ» °ø°¨Çϸ鼭 ¸Å»ç¿¡ ¡®¿ªÁö»çÁö¡¯¶ó´Â ¶æÀ» °¢ ºÎ¼­ÀåÀÌ »ý°¢Çϸ鼭 ¾÷¹«¿¡ ÀÓÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

´Ù°¡¿À´Â 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸í ½Ã´ë¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼»ç¾÷ÀÌ ÀϹݻê¾÷°ú À¶ÇÕÇÏ¿© °¡Áö ¾ÊÀ¸¸é ¾ÈµÈ´Ù´Â ´ëÇ¥ÀÌ»çÀÇ ÀÇÁö¿Í À̸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÏ´Â ICT À¶ÇÕ»ç¾÷À» À§ÇÏ¿© 2015³âµµ¿¡ ¡®ÁÖ½Äȸ»ç ÆÄÀ£ÀÌ¿£Áö¡¯¸¦ ¼³¸³ÇÏ°í ÀÓº£µðµå ¹× µå·Ð »ç¾÷ µî ICT Á¤º¸Åë½Å»ç¾÷À» ½ÃÀÛÇÏ¿´½À´Ï´Ù.

2017³âµµ¿¡´Â µ¶ÀÏ ÀüÀÚ ¹Ú¶÷ȸ¿¡ Âü°¡ÇÏ¿© 4Â÷»ê¾÷Çõ¸í°ú PHMºÐ¾ß¸¦ »ç¾÷°æ¿µ¿¡ ³ì¿©¾ß ÇÑ´Ù´Â ÀνÄÇÏ¿¡, ÇöÀç±îÁö µ¿ »ç¾÷À» »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÀåÄ¡ Á¦Á¶ ±â¾÷¿¡ »ç¾÷Àü°³¸¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÀúÈñ (ÁÖ)ÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹À̼ÇÀº ÇöÀ纸´Ù ³ªÀº ¹Ì·¡¸¦ À§ÇÏ¿© °í°´¸¸Á·°ú Ç°ÁúÇâ»óÀ» ÅëÇØ ÃÖ°íÀÇ Á¦Ç°À» °ø±ÞÇÏ´Â °ÍÀ» ¸ñÇ¥·Î ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

¶ÇÇÑ ´ëÇ¥ÀÌ»ç ¹× ÀÓÁ÷¿øµéÀº Ç×»ó ½Å±â¼ú°³¹ß°ú ¿¬±¸°³¹ßºÐ¾ß¿¡ ÁýÁß ÅõÀÚÇÏ¿© À̸¦ ÅëÇÑ °í°´¸¸Á· ½ÇõÀ» À§ÇÏ¿© ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ºÐ¾ßÁß 8´ë ÇÙ½É °øÁ¤ÀÎ Front°øÁ¤-Dry etcher, CVD, Sputter-¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Áø°ø è¹ö³»¿¡¼­ Si Wafer¸¦ °íÁ¤ÇÏ´Â ÇٽɺÎÇ°ÀÎ ESC¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ESC´Â Àû¿ë ¼ÒÀç¿Í Á¦Ç°ÀÇ ¿ä¼Ò±â¼úÀÌ ¸Å¿ì Áß¿ä½ÃµÇ´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÇÙ½É ºÎÇ°ÀÔ´Ï´Ù.

ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡´Â ¸¹Àº ÷´Ü ¼ÒÀç¿Í ¸ðµâÀÌ ¾Æ¿ì·¯Á® ¹ÝµµÃ¼Ä¨À» »ý»êÇϴµ¥, ÆÄÀ£ÀÌ °ø±ÞÇÏ´Â ESCÀÇ ¼ÒÀç´Â °í¼øµµ Ceramics¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼Ä¨ »ý»ê ¼öÀ²À» ³ôÀÌ°í ÀÖÀ¸¸ç °ü·ÃÇÏ¿© AlN/Ceramic Heater¿Í ESC/Heater Àü¿ø °ø±ÞÀåÄ¡¸¦ Á¦ÀÛÇÏ¿© °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÁÖ½Äȸ»ç ÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹À̼ÇÀº °í°´»çÀÇ »ý»ê Àåºñ¿Í »ý»ê°øÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Chuck Á¦Ç°(ESC&Heater)°ú Àü¿ø °ø±ÞÀåÄ¡(ESC&Heater)¿¡ ¿Âµµ¼¾¼­ Á¦¾îÀåÄ¡ ÀÓº£µðµå¼ÒÇÁÆ®±îÁö ÅÏÅ°·Î Á¦ÀÛ, °ø±ÞÇÏ¿© ȸ»ç°¡ ¸ñÇ¥ÇÏ´Â °ÇÀü¼º ¿¹ÁöÁ¤ºñ»ç¾÷(PHM)À» °æÀï·Â ÀÖ°Ô °ø±ÞÇÏ¿© ÃÖ»óÀÇ °í°´ ¸¸Á·À» ÀÌ·ï³»±â À§ÇØ ³ë·ÂÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

⸳ ÀÌ·¡ º¥Ã³±â¾÷, À̳ëºñÁî, ±â¾÷ºÎ¼³ ¿¬±¸¼Ò, ISOÇ°Áú ÀÎÁõÀ» ÁøÇàÇÏ¿´°í, Çѱ¹¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Çùȸ °¡ÀÔ, À¯¼öÀÇ ¿©·¯ ´ëÇÐ ¹× ±â°üµé°ú °¡Á·È¸»ç µî·ÏÇÏ¿´À¸¸ç, ¼ÒÀç ¹× ±â¼ú °ü·Ã ƯÇ㸦 Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Ãâ¿øÇÏ°í ÀÖ°í, ±¹³»ÀÇ À¯¼öÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ȸ»ç¿ÍÀÇ Çù¾÷À» ÅëÇÏ¿© ÀÌ ºÐ¾ßÀÇ Çٽɱâ¾÷À¸·Î ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

¶ÇÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¹× FPD¿ë ESC, Vacuum Chuck Á¦Ç°°ú °ü·Ã ÀåÄ¡ÀÇ Á¦ÀÛ°ú ÇÔ²² ICT ÀÓº£µðµå ºÐ¾ßÀÇ Á¦Ç° °³¹ß°ú ¿ë¿ª, ÄÁ¼³Æà ¹× À¯Åë»ç¾÷±îÁö ´Ù°¢µµ·Î »ç¾÷ ¾ÆÀÌÅÛÀ» È®ÀåÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

 

 

 

2. ±Í»çÀÇ ÁÖ¿ä ¾÷¹«¿¡ ´ëÇØ ¼Ò°³ÇØ ÁֽʽÿÀ.

¢ßÆÄÀ£ ÄÚÆÛ·¹À̼ÇÀÇ ÁÖ¿ä »ç¾÷ ºÐ¾ß´Â ´ÙÀ½°ú °°½À´Ï´Ù.

¹ÝµµÃ¼ 8´ë°øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É °øÁ¤¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â Ceramic °ü·Ã ºÎÇ° »ç¾÷

¹ÝµµÃ¼ & Display & Moblie : PI /Ceramic ESC / Heater(Al2o3 AlN ,Etc)

PHM (°ÇÀü¼º ¿¹ÁöÁ¤ºñ»ç¾÷ : ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß ¹× »ê¾÷ºÐ¾ß)

Àü¿ø°ø±ÞÀåÄ¡(ESC Power Controller) with temp LPF sensor Noise ÇÊÅÍ

¹ÝµµÃ¼ °Ë»ç ÀåÄ¡ / ¼Ö¶ó¼¿ ÀåÄ¡ / ¹Ý¼Û¿ë ÀÚµ¿È­¼³ºñ ºÎÇ°(Porous ceramic Chuck)

¹ÝµµÃ¼¶óÀÎ °ü¸® ¼ÒÇÁÆ® FMS(Facility Management System)

ÀÚµ¿È­¼³ºñ/¹ÝµµÃ¼/Display¶óÀÎ : Áø°ø ºÎÇ°, °¢Á¾ ¸ðµâ & ÄÄÆÛ³ÍÆ® °ø±Þ(ÇÊ¿ä¿¡ µû¶ó °í°´ 맟ÃãÇü Á¦ÀÛ °¡´ÉÇÔ)

 

3. PHM ºÐ¾ß ¿¬±¸ È°µ¿¿¡ ´ëÇØ ¼Ò°³ÇØ ÁֽʽÿÀ.

1) ¹ÝµµÃ¼¿ë ÇöóÁ ¼Ò½º Àåºñ¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â Dry PumpÀÇ ¿¹Áöº¸Àü »ç¾÷

2) °¢Á¾ Àåºñ ¹× ±â°èÀåÄ¡ÀÇ Áøµ¿ µ¥ÀÌÅÍ ¼öÁý ¹× ºÐ¼® »ç¾÷À» ¼öÇà

3) ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀÇ Áøµ¿ µ¥ÀÌÅÍ µ¥ÀÌÅÍ º£À̽º ±âÃÊ ÀÛ¾÷ ¼öÇà

4) ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ »ý»ê¶óÀο¡ »ç¿ëµÇ´Â ¹è°üÀÇ ¿¬°áºÎ ¸®Å©¸¦ °¨ÁöÇÏ°í °ü¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹«¼± Áø°ø ¼¾¼­¸¦ °³¹ßÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ Áø°ø ¶óÀÎ Àû¿ë Å×½ºÆ® ÁøÇà

5) ¸Ó½Å·¯´× ±â¹ÝÀÇ ¿¹ÃøÁø´Ü ¼Ö·ç¼ÇÀ» °³¹ßÇÏ¿© Àû¿ë


4. ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ °èȹ¿¡ ´ëÇØ °£·«È÷ ¸»¾¸ÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.

ÀúÈñ ȸ»ç°¡ °ø±ÞÇÏ´Â Á¦Ç°(ESC & Controller)¿¡ PHMÀ» Á¢¸ñÇÏ¿© ÇÙ½É ºÎÇ°ÀÇ »óŸ¦ ½Ç½Ã°£ ¸ð´ÏÅ͸µÇÏ°í ÀÌ»ó »óȲ ¿¹ÁöÇÏ¿©´Â ½Ã½ºÅÛÀ¸·Î, °í°´ÀÇ »ý»ê¶óÀÎÀÇ »ý»ê ¼öÀ² ¾ÈÁ¤È­¿Í ¼öÀ² Çâ»óÀ» ¸ñÇ¥·Î ÃÖ»óÀÇ ¼­ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÏ°íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.

 

 

 


ÀÌÀü±Û [PHM News Letter vol.12] ȸ¿ø»ç ¼Ò°³ - ǻó¸ÞÀÎ
´ÙÀ½±Û [PHM News Letter vol.12] PHM °ü·Ã ±¹³»¿Ü ÃֽŠ´ëÇ¥ ³í¹®