¾È³çÇϼ¼¿ä. ¢ßÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹ÀÌ¼Ç ´ëÇ¥ÀÌ»ç °Ã¢¼öÀÔ´Ï´Ù. ÁÖ½Äȸ»ç ÆÄÀ£Àº ¡°ÈûÂ÷°Ô Àß°¡¶ó¡± ¶Ç´Â ¡°ÈûÀÌ¿©
¼Ú¾Æ¶ó¡±¶ó´Â ¡°power well¡°À̶ó´Â ¿ø´ëÇÑ Å« ¶æÀ»
°¡Áö°í 1999³âµµ¿¡ ⸳ÇÑ ´ëÇѹα¹ÀÇ Áß¼Ò ¹ÝµµÃ¼ °¼Ò±â¾÷ÀÔ´Ï´Ù.
ÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹ÀÌ¼Ç Ã¢¾÷ ´ç½Ã
ÀϺ»Àº Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç °³ ±â¾÷ Áß 6°³ÀÇ ±â¾÷À» º¸À¯ÇÑ ¸·° ÆÄ¿ö ¹ÝµµÃ¼°±¹À̾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ È¯°æ¿¡¼ °Ã¢¼ö ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â ÀϺ»¿¡¼ ±Ù¹«ÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷·Â°ú ºñÁö´Ï½º ±â¼ú¿µ¾÷ °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¡°»ç¾÷Àº °í°´ ¸¸Á·¡±À̶ó´Â »ç¸í°¨À» °¡Áö°í ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ°. ¼ÒÀç. ÀåÄ¡ÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î °í°´¿¡°Ô ´Ù°¡°¡´Â ¡°°í°´ ¸¸Á·¡±ÀÇ ½½·Î°ÇÀ¸·Î ¡°ÆÄ¿ö
ÀÖ°Ô Àß ³ª¾Æ°¡ÀÚ¡±¶ó´Â ÀÇÁö·Î ½ÃÀÛÀÌ µÇ¾ú°í ±× ù¹ßÀº 1999³âµµ¿¡
³»µó¾ú½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ 1999³âµµ ´ëÇѹα¹Àº IMF¶õ ±¹°¡Àû Å« ¾ÇÀç°¡ ÀÖ¾ú´ø ÅͶó
¸Å¿ì Èûµç½Ã±â¿´½À´Ï´Ù. ¿À·ÎÁö ¡®±â¼ú°±¹¡¯À̶ó´Â ¸ñÇ¥¿Í ¡®±â¼úÀÚ¡¯¸¸ÀÌ
³ª¶ó°¡ »ì¸®°í °¡Á·À» °Ç»çÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¼±°¢ÀÚµé°ú ÁÖº¯ ¼±¹èµéÀÇ °¡¸£Ä§À¸·Î ÀÌ ±æÀ» ¼÷¸íÀ¸·Î »ý°¢ÇÏ°í »ç¾÷À» ½ÃÀÛÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ´ëÇѹα¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷°ú µð½ºÇ÷¹ÀÌ»ê¾÷¿¡
ÇÊ¿äÇÑ ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°ÀÇ °ø±Þ°ú ±¹»êÈ °³¹ß, ¼öÀÔ ´Ùº¯È¸¦ ÅëÇÏ¿© ±¹°¡ÀÇ ÁÖ¿ä ÇÙ½É »ê¾÷ ±â¼ú°³¹ß¿¡
´ëÇÑ Á¶·Â°ú ´ë±â¾÷°ú Áß¼Ò±â¾÷ ¹× °ü·Ã ¿¬±¸¼Ò ¹× ´ëÇб³ °ø±â¾÷ µî¿¡ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±âÃÊ ºÎÇ°, ÀåÄ¡, ¼ÒÀ縦 °¡Áö°í »ç¾÷À» Àü°³ÇÏ¿©, ¸í½Ç°øÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ 1.5¼¼´ë·Î½á ¡®´ëÇѹα¹ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ ¼ºÀ塯ÀÇ ¹ßÆÇÀ» ¸¶·ÃÇϴµ¥ ³ë·ÂÇÏ¿© ¿ÔÀ¸¸ç 2021³â Áö±Ý ÀÌ ¼ø°£
¾÷·Â 21³âÂ÷ÀÇ Áß¼Ò±â¾÷ÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ ÇöÀç ±Ù¹«ÇÏ´Â ÀÓÁ÷¿øµéÀº
»ï¼ºÀüÀÚÃâ½Å ±×¸®°í ÇØ¿Ü ±â¾÷ Ãâ½Å ÀÓÁ÷¿ø ±×¸®°í Áß¼Ò±â¾÷¿¡¼ Çٽɱâ¼ú ¼³°è ¹× Á¦Á¶ »ý»ê °æ·ÂÀÚ µî, ±Ù¹«±â°£ÀÌ 10³âÂ÷ ÀÌ»óÀÇ º£Å׶û »ç¿øÀÌ Àý¹Ý ÀÌ»ó ÀçÁ÷ ÁßÀÌ°í, ÀçÁ÷ÀÚÀÇ 50%°¡ ¿µ¾î ¹× ÀϺ»¾î¸¦ ±¸»çÇÏ´Â ¿¤¸®Æ®»ç¿øÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ° ¿µ¾÷, »ý»ê, Á¦Á¶, Ç°Áú¾÷¹«¸¦ ¼öÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç Àå±â ±Ù¼ÓÇÏ´Â Àü¹® ¿µ¾÷. ±â¼ú¾÷¹«¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î °í°´¿¡°Ô Ç°Áú°ú ½Å·Ú·Î º¸´äÇÏ°í ȸ»çÀÇ °æÀï·ÂÀ» ³ôÀÌ´Â °¡Ä¡ ÀÖ´Â ±â¾÷À̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù ÁÖ½Äȸ»ç ÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹À̼ÇÀº
ÀÓÁ÷¿øµéÀÇ °Ç°°ú ¹ßÀüÀÌ È¸»çÀÇ °Ç°ÀÌ°í ¹ßÀüÀÓÀ» °ø°¨ÇÏ¸é¼ ¸Å»ç¿¡ ¡®¿ªÁö»çÁö¡¯¶ó´Â ¶æÀ» °¢ ºÎ¼ÀåÀÌ »ý°¢ÇÏ¸é¼ ¾÷¹«¿¡ ÀÓÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ´Ù°¡¿À´Â 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸í ½Ã´ë¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼»ç¾÷ÀÌ ÀϹݻê¾÷°ú À¶ÇÕÇÏ¿© °¡Áö ¾ÊÀ¸¸é ¾ÈµÈ´Ù´Â ´ëÇ¥ÀÌ»çÀÇ ÀÇÁö¿Í À̸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î
ÇÏ´Â ICT À¶ÇÕ»ç¾÷À» À§ÇÏ¿© 2015³âµµ¿¡ ¡®ÁÖ½Äȸ»ç ÆÄÀ£ÀÌ¿£Áö¡¯¸¦ ¼³¸³ÇÏ°í ÀÓº£µðµå ¹× µå·Ð »ç¾÷ µî ICT Á¤º¸Åë½Å»ç¾÷À» ½ÃÀÛÇÏ¿´½À´Ï´Ù. 2017³âµµ¿¡´Â µ¶ÀÏ ÀüÀÚ ¹Ú¶÷ȸ¿¡ Âü°¡ÇÏ¿© 4Â÷»ê¾÷Çõ¸í°ú PHMºÐ¾ß¸¦ »ç¾÷°æ¿µ¿¡ ³ì¿©¾ß ÇÑ´Ù´Â ÀνÄÇÏ¿¡, ÇöÀç±îÁö µ¿ »ç¾÷À»
»ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÀåÄ¡ Á¦Á¶ ±â¾÷¿¡ »ç¾÷Àü°³¸¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀúÈñ (ÁÖ)ÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹À̼ÇÀº ÇöÀ纸´Ù ³ªÀº ¹Ì·¡¸¦ À§ÇÏ¿© °í°´¸¸Á·°ú Ç°ÁúÇâ»óÀ»
ÅëÇØ ÃÖ°íÀÇ Á¦Ç°À» °ø±ÞÇÏ´Â °ÍÀ» ¸ñÇ¥·Î ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ´ëÇ¥ÀÌ»ç ¹× ÀÓÁ÷¿øµéÀº
Ç×»ó ½Å±â¼ú°³¹ß°ú ¿¬±¸°³¹ßºÐ¾ß¿¡ ÁýÁß ÅõÀÚÇÏ¿© À̸¦ ÅëÇÑ °í°´¸¸Á· ½ÇõÀ» À§ÇÏ¿© ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ºÐ¾ßÁß 8´ë ÇÙ½É °øÁ¤ÀÎ Front°øÁ¤-Dry
etcher, CVD, Sputter-¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Áø°ø è¹ö³»¿¡¼ Si Wafer¸¦
°íÁ¤ÇÏ´Â ÇٽɺÎÇ°ÀÎ ESC¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ESC´Â
Àû¿ë ¼ÒÀç¿Í Á¦Ç°ÀÇ ¿ä¼Ò±â¼úÀÌ ¸Å¿ì Áß¿ä½ÃµÇ´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÇÙ½É ºÎÇ°ÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡´Â ¸¹Àº
÷´Ü ¼ÒÀç¿Í ¸ðµâÀÌ ¾Æ¿ì·¯Á® ¹ÝµµÃ¼Ä¨À» »ý»êÇϴµ¥, ÆÄÀ£ÀÌ °ø±ÞÇÏ´Â ESCÀÇ ¼ÒÀç´Â °í¼øµµ Ceramics¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼Ä¨ »ý»ê
¼öÀ²À» ³ôÀÌ°í ÀÖÀ¸¸ç °ü·ÃÇÏ¿© AlN/Ceramic Heater¿Í
ESC/Heater Àü¿ø °ø±ÞÀåÄ¡¸¦ Á¦ÀÛÇÏ¿© °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÁÖ½Äȸ»ç ÆÄÀ£ÄÚÆÛ·¹À̼ÇÀº
°í°´»çÀÇ »ý»ê Àåºñ¿Í »ý»ê°øÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Chuck Á¦Ç°(ESC&Heater)°ú
Àü¿ø °ø±ÞÀåÄ¡(ESC&Heater)¿¡ ¿Âµµ¼¾¼ Á¦¾îÀåÄ¡ ÀÓº£µðµå¼ÒÇÁÆ®±îÁö ÅÏÅ°·Î Á¦ÀÛ, °ø±ÞÇÏ¿© ȸ»ç°¡ ¸ñÇ¥ÇÏ´Â °ÇÀü¼º ¿¹ÁöÁ¤ºñ»ç¾÷(PHM)À» °æÀï·Â
ÀÖ°Ô °ø±ÞÇÏ¿© ÃÖ»óÀÇ °í°´ ¸¸Á·À» ÀÌ·ï³»±â À§ÇØ ³ë·ÂÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ⸳ ÀÌ·¡ º¥Ã³±â¾÷, À̳ëºñÁî, ±â¾÷ºÎ¼³ ¿¬±¸¼Ò,
ISOÇ°Áú ÀÎÁõÀ» ÁøÇàÇÏ¿´°í, Çѱ¹¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Çùȸ °¡ÀÔ, À¯¼öÀÇ ¿©·¯ ´ëÇÐ ¹× ±â°üµé°ú °¡Á·È¸»ç µî·ÏÇÏ¿´À¸¸ç, ¼ÒÀç ¹×
±â¼ú °ü·Ã ƯÇ㸦 Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Ãâ¿øÇÏ°í ÀÖ°í, ±¹³»ÀÇ À¯¼öÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ȸ»ç¿ÍÀÇ Çù¾÷À» ÅëÇÏ¿© ÀÌ ºÐ¾ßÀÇ
Çٽɱâ¾÷À¸·Î ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¹× FPD¿ë ESC, Vacuum Chuck Á¦Ç°°ú °ü·Ã ÀåÄ¡ÀÇ Á¦ÀÛ°ú
ÇÔ²² ICT ÀÓº£µðµå ºÐ¾ßÀÇ Á¦Ç° °³¹ß°ú ¿ë¿ª, ÄÁ¼³ÆÃ
¹× À¯Åë»ç¾÷±îÁö ´Ù°¢µµ·Î »ç¾÷ ¾ÆÀÌÅÛÀ» È®ÀåÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. |